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明升平台成栅稳定的关键在于光刻技术,而这也是光栅制造的难点。如果刻写的光栅结构不均匀,在缺陷处就容易形成热点,这里的温度就会高。合适的光刻机选型、匹配的掩模板参数设计,加上光斑匀化技术、刻写光路设计、衍射处理技术都是能够均匀稳定成栅的基础。经过光路光斑调整优化与波形关系、光刻机参数与光栅稳定性关系的大量的实验和理论探讨,得益上述在光刻上的先进技术,创鑫激光已经形成了光纤载氢、去涂覆、光栅刻写、涂覆、退敏一整套完善的工艺流程,能够确保稳定成栅。

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